الأشعة تحت الحمراء معدات قياس التداخل

الأشعة تحت الحمراء معدات قياس التداخلمناسبة لأنّ مادة قادرة على تمرير الأشعة تحت الحمراء

السيليكون ، الياقوت ، زرنيخيد الغاليوم ، الإنديوم الفوسفات ، كربيد السيليكون ، الزجاج ، الكوارتز ، البوليمر .

سمك الركيزة ( لا يتأثر نمط رقاقة السيليكون ، الشريط ، مقعرة محدبة أو المستعبدين رقاقة السيليكون )

التسطيح

سمك الاختلاف ( TTV )

عمق الخندق

من خلال ثقب الحجم والعمق ، زاوية الجدار الجانبي

خشونة

فيلم سمك

راتنجات الايبوكسي سمك

الركيزة انفتال

ارتفاع رقاقة عثرة

ممس قياس رقيقة

TSV عمق الجدار الجانبي زاوية . . . . ـ

طريقة القياس : تدخل الأشعة تحت الحمراء ( عدم الاتصال )

حجم العينة : 50 , 75 , 100 , 200 , 300 مم

قياس سمك : 30-780 ميكرون ( مسبار واحد )

3 مم ( المزدوج مسبار قياس سمك الكلي )

طريقة المسح الضوئي : شبه التلقائي بالكامل ،

آخر 2D / 3D المسح الضوئي ( الخرائط ) اختياري

قياس سماكة الركيزة : TTV ، متوسط ، صغير ، كبير ، والتسامح . . . . ـ

خشونة : 20-1000 ؟ رمس

التكرار : 0.1 ميكرومتر ( 1 سيغما ) مسبار واحد *

0.8 ميكرون ( 1 سيجما ) المزدوج التحقيق *

القرار : 10 نانومتر

حجم المعدات :

413-200 : 26 ( ث ) x 38 ( D ) x 56 ( H )

413-300 : 32 ( ث ) x 46 ( د ) x 66 ( ح )

الوزن : 500 رطل

مصدر الطاقة : 110V / 220VAC فراغ : 100 مم زئبق

* عينة سطح أملس ( خشونة العام أقل من 0.1 ميكرون رمس )

* * * * * * * * * * * * * * 150 ميكرون سميكة رقاقة السيليكون ( أي نمط ، على الوجهين مصقول ولا مخدر )